太陽能電池板案例

江蘇施美康太陽能電池板案例

人氣:144 評論:0 日期:2016/11/21 9:33:17 標簽:全部

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  切片,清洗,製備絨麵,周邊刻蝕,去除背麵PN+結,製作上下電極,製作減反射膜,燒結,測試分檔等10步。

  太陽能電池具體的製作工藝說明

  (1) 切片:采用多線切割,將矽棒切割成正方形的矽片。

  (2) 清洗:用常規的矽片清洗方法清洗,然後用酸(或堿)溶液將矽片表麵切割損傷層除去30-50um。

  (3) 製備絨麵:用堿溶液對矽片進行各向異性腐蝕在矽片表麵製備絨麵。

  (4) 磷擴散:采用塗布源(或液態源,或固態氮化磷片狀源)進行擴散,製成PN+結,結深一般為0.3-0.5um。

  (5) 周邊刻蝕:擴散時在矽片周邊表麵形成的擴散層,會使電池上下電極短路,用掩蔽濕法腐蝕或等離子幹法腐蝕去除周邊擴散層。

  (6) 去除背麵PN+結。常用濕法腐蝕或磨片法除去背麵PN+結。

  (7) 製作上下電極:用真空蒸鍍、化學鍍鎳或鋁漿印刷燒結等工藝。先製作下電極,然後製作上電極。鋁漿印刷是大量采用的工藝方法。

  (8) 製作減反射膜:為了減少入反射損失,要在矽片表麵上覆蓋一層減反射膜。製作減反射膜的材料有MgF2 ,SiO2 ,Al2O3 ,SiO ,Si3N4 ,TiO2 ,Ta2O5等。工藝方法可用真空鍍膜法、離子鍍膜法,濺射法、印刷法、PECVD法或噴塗法等。

  (9) 燒結:將電池芯片燒結於鎳或銅的底板上。

  (10)測試分檔:按規定參數規範,測試分類。


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